サービス内容

フィールドサービス

  • 修理・調整

    経験豊富な半導体・液晶製造装置フィールドエンジニアによって、迅速かつ高品質の修理・調整を行っています。
  • スタートアップ・移設・解体

    新規装置の組み立て・配線・配管・各部調整をはじめ、各種データ取りやプロセス条件だしのサポートも実施致します。中古装置の移設や解体についても多数の実績があります。
  • 定期保全・オーバーホール

    消耗部品の定期交換や搬送系その他の再調整といった定期的な保全作業から、生成物・汚染物除去及びクリーニングといったオーバーホール作業も実施します。
  • 保守契約(コントラクト)

    半導体・液晶製造工場のクリーンルーム内常駐サポートや休日・深夜サポートなどの様々なニーズに応じた内容の保守契約が可能です。
  • 装置コンサルティング

    装置のログ解析や故障解析を実施して、各種装置運用アドバイスや理想的な予防保全などを提案して生産性向上のフォローを行います。
  • 安全管理

    組織された安全管理部門が中心となった安全管理体制を構築しています。自社講師による安全教育や安全専任者によるクリーンルーム巡視や現場安全活動など幅広く活動しています。

取扱装置

  • 熱処理成膜装置
  • ドライエッチング装置
  • CVD/PVD装置
  • コーター/デベロッパー装置
  • CMP装置
  • 燃焼式除害装置
  • ドライ/ウェット洗浄装置
  • ウエハープローバー装置
  • ドライエッチング装置(FPD)
  • コーター/デベロッパー装置(FPD)